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1. 大幅面高速旋转系统
有效直径最大400mm
最大转速 3000 转/min
转速波动不超过正负0.1%
2.大尺寸高精度基片吸附卡盘
360-370 mm卡爪吸盘
工作腔体 600 mm
3. 多程序涂布参数设置模块
26 条程序条程序
单条程序 100 步骤
每步骤时间独立控制，最长 9999 秒
配置大型工作腔体，为大口径基板提供了充足的操作空间
极高的吸盘端跳精度，从根本上减少了由振动导致的膜层缺陷
极低的转速波动，保证了旋涂膜厚的一致性与重复性
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